X射线荧光分析是确定物质中微量元素的种类和含量的一种方法，又称X射线次级发射光谱分析，利用原级X射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生次级X射线（X光荧光），而进行物质成分分析和化学态研究。

X射线荧光光谱法定量分析的依据是元素的荧光X射线强度与试样中该元素的含量成正比。

按激发、色散和探测方法的不同，分为X射线光谱法（波长色散）和X射线能谱法（能量色散）。

主要性能指标

型号：SPECTRO XEPOS（德国斯派克分析仪器公司）

安装时间：2016年10月

安放地点：清华大学工物馆

元素范围：元素周期表中Na到U，共计82种元素

分辨率：130eV

检出限：ppm级别

靶材：Co/Pd合金

测试气氛：大气或氦气或真空

测试样品：固体、粉末、液体

SSD检测器计数率：1000000cps

软件：TurboQuant II

样品范围：润滑油、低硫燃烧、石化产品、化学品、大气飘尘、熟料/水泥/矿渣、地质样品、化妆品、食品、药品、钢铁和铝板涂层、环境样品、土壤、污泥等